有研究表明,當(dāng)集成電路線寬節(jié)點達(dá)到32nm以下時,線寬量值10%的誤差將導(dǎo)致芯片器件失效。當(dāng)前集成電路先進(jìn)的工藝制程節(jié)點要求線寬達(dá)到原子級準(zhǔn)確度,通常采用線寬標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)對關(guān)鍵尺寸量測設(shè)備進(jìn)行計量溯源,以確保關(guān)鍵尺寸設(shè)計加工的準(zhǔn)確性。隨著集成電路工藝制程節(jié)點的不斷縮小,芯片的晶體管密度增加和性能提升得益于晶體管柵極寬度的不斷減少。
ky体育納米線寬作為集成電路的關(guān)鍵尺寸,指晶體管柵極的最小線寬(柵寬),是描述集成電路工藝先進(jìn)程度的一個重要指標(biāo),其量值的準(zhǔn)確性將極大影響電流、電阻等電特性參數(shù),從而影響芯片器件的性能指標(biāo)。
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