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在此背景下，飛利浦開始研發(fā)自己的晶圓步進機，用于對硅晶圓進行圖案化。自1978年起，飛利浦科學與工業(yè) (S&I) 部門以 PAS2000 (飛利浦自動晶圓步進機)的名義推動了商業(yè)化工作。

鸿博体育网页版官网下载中新網6月12日電 綜合外媒報道，當地時間11日晚，荷蘭光刻機巨頭阿斯麥(ASML)在社交平臺發(fā)文，悼念其創(chuàng)始人之一維姆・特魯斯特(WimTroost)離世。

20世紀70年代末和80年代初，半導體制造技術的規(guī)模和復雜性的快速增長，推動了這一行業(yè)價值鏈的分工，專業(yè)設備供應商對于開發(fā)復雜的光刻系統(tǒng)變得尤為重要。

特魯斯特正是飛利浦晶圓步進機的開發(fā)人員，也是在飛利浦管理團隊會議上唯一一個表示對光刻機研究有興趣的人。1984年，飛利浦和ASM成立合資企業(yè)阿斯麥。1987年，當時搖搖欲墜的阿斯麥群龍無首，剛從飛利浦退休兩年的特魯斯特決定出任阿斯麥的CEO，他帶領ASML度過了1988年的危機，直至1990年再次退休。

據報道，阿斯麥在社交平臺上發(fā)布悼文稱，“我們的創(chuàng)始人之一維姆・特魯斯特去世了。在1987年至1990年期間，他擔任首席執(zhí)行官，當時阿斯麥正在努力爭取第一個客戶。退休后，特魯斯特仍然是阿斯麥和高科技產業(yè)的真正大使。他激勵了后世的許多人。我們感謝特魯斯特為阿斯麥強大的公司文化所做的貢獻，以及他的領導能力、毅力和遠見。我們向特魯斯特的家人表示哀悼。”

“特魯斯特從廢料堆中拯救了晶圓步進機。在第二次世界大戰(zhàn)后的幾十年里，如果說有誰是飛利浦的代表人物，那非他莫屬，”暢銷科技書籍《光刻巨人：ASML崛起之路》曾如是描述。

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